青島育豪微電子設(shè)備有限公司
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主營(yíng)：擴(kuò)散爐系列,真空爐系列,鏈?zhǔn)剿淼罓t系列,氫氣爐系列,砷化鎵單晶爐系列,LED專用設(shè)備,太陽(yáng)能光伏擴(kuò)散爐,磁性材料專用設(shè)備
產(chǎn)品描述
◆工作溫度： 300~1200℃
◆有效口徑根據(jù)用戶擴(kuò)散片確定，可訂制
◆恒溫區(qū)長(zhǎng)度： 920mm1350mm（可根據(jù)用戶要求定制）
◆溫區(qū)精度 (靜態(tài)閉管測(cè)試)：
600℃＜工作溫度＜1200℃： ±0.5℃
300℃&le工作溫度&le600℃： ±1℃
◆單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性(靜態(tài)閉管測(cè)試)：
600℃＜工作溫度＜1200℃： ±0.5℃24h
300℃&le工作溫度&le600℃： ±1℃24h
◆溫度斜變能力：
可控升溫速度(300～1300℃)：15℃min
降溫速度(1300～900℃)： 5℃min
◆氣體流量設(shè)定精度： ±0.5％FS
◆氣路系統(tǒng)氣密性： 1×107pa.m3s
◆自動(dòng)送料裝置行程： ~2000mm
速度： 5~1000mmmin，SiC漿承重 20kg
◆裝片數(shù)量 400片管
◆凈化臺(tái)潔凈度 100級(jí)（10000級(jí)廠房）
◆三相五線制 380V±10，50Hz±10Hz；
◆冷卻水： 2～4Kgfcm2，～8Lmin
太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散主要有開(kāi)管擴(kuò)散和閉管軟著陸擴(kuò)散兩種形式 ◆閉管磷擴(kuò)散，帶有工藝廢氣冷卻定向回收裝置，偏磷酸、CL2分開(kāi)收集處理；工藝廢氣集中收集從尾部定向排出；各種工藝氣體可分開(kāi)送入石英管內(nèi)，工藝氣體(三氯氧磷)可采用噴淋式方式引入到石英管內(nèi)。閉管軟著陸擴(kuò)散方式工藝過(guò)程完全不受外界環(huán)境干擾，工藝質(zhì)量完全受保護(hù)。
◆自動(dòng)化程度：自動(dòng)控制溫度及工藝過(guò)程。主控溫控模塊采用國(guó)外進(jìn)口，可在達(dá)到±0.25℃的控制精度。
◆送取片方式：懸臂式推拉舟。采用側(cè)面布局的懸臂推拉結(jié)構(gòu)，可有效的防止偏磷酸下滴，造成推拉機(jī)構(gòu)受腐蝕，影響推拉機(jī)構(gòu)的性。
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