青島育豪微電子設(shè)備有限公司
已認(rèn)證
主營：擴(kuò)散爐系列,真空爐系列,鏈?zhǔn)剿淼罓t系列,氫氣爐系列,砷化鎵單晶爐系列,LED專用設(shè)備,太陽能光伏擴(kuò)散爐,磁性材料專用設(shè)備
產(chǎn)品描述
詳細(xì)說明
雙工位真空燒結(jié)爐主要應(yīng)用于電力半導(dǎo)體器件燒結(jié)焊接等工藝
設(shè)備參數(shù)： ★真空室工位數(shù)：13位
★真空度：1x103Pa，加擴(kuò)散泵為5x106Pa ★工作溫度：1000℃
★充氣的壓強(qiáng)：0.5Mpa（可控） ★不銹鋼內(nèi)膽：&Phi150&Phi350x1300
★橫溫區(qū)：6001200mm±1oC ★控溫方式：三點(diǎn)三段采用進(jìn)口日本高精度控溫器
★控溫曲線：9段升降溫999小時 ★工作方式：自動或手動自由轉(zhuǎn)換
★單點(diǎn)精度：±10℃24h ★正壓、負(fù)壓均采用數(shù)字顯示表
★雙工位交替工作，行走X、Y方
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- 青島育豪微電子設(shè)備有限公司
- 經(jīng)營模式：制造商
- 主營：擴(kuò)散爐系列,真空爐系列,鏈?zhǔn)剿淼罓t系列,氫氣爐系列,砷化鎵單晶爐系列,LED專用設(shè)備,太陽能光伏擴(kuò)散爐,磁性材料專用設(shè)備
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