青島育豪微電子設(shè)備有限公司
已認(rèn)證
主營(yíng)：擴(kuò)散爐系列,真空爐系列,鏈?zhǔn)剿淼罓t系列,氫氣爐系列,砷化鎵單晶爐系列,LED專用設(shè)備,太陽(yáng)能光伏擴(kuò)散爐,磁性材料專用設(shè)備
產(chǎn)品描述
本設(shè)備主要應(yīng)用于集成電路、分立器件、電力電子器件熔化焊接來(lái)進(jìn)行的生產(chǎn)、擴(kuò)散、燒結(jié)、以及熱處理退火等工藝操作。
主要技術(shù)指標(biāo)：
方式：立式、環(huán)壁加熱，鐘罩升降式，絲杠上下傳送料，自動(dòng)升降送料，真空室內(nèi)配有工件支架 可處理硅片尺寸：28英寸 恒溫區(qū)長(zhǎng)度：400800mm 工作溫度：4001250°度 控溫精度： ± 1度 有效工作空間： ¢ 350高700mm；（此尺寸可根據(jù)工藝要求制作） 真空機(jī)組：采用2x8 機(jī)械泵+渦輪分子泵（或擴(kuò)散泵） 真空度：極限真空5104。 工藝氣體：N2H2ArO2(可根據(jù)工藝要求選配）； 壓力：0.02&mdash0.2mpa 冷卻水：壓力0.2&mdash0.4MPa 電源電壓：380V；總功率：22KW 功能特點(diǎn)： 全中文windows操作界面，可編輯參數(shù)，操作方便。
★可保存多條工藝曲線，每條曲線可設(shè)置多步。
★工藝曲線的自動(dòng)運(yùn)行控制功能。
★自動(dòng)運(yùn)行中可暫停繼續(xù)運(yùn)行功能。
★工藝中可強(qiáng)制跳到下一個(gè)工藝步運(yùn)行功能。
★智能升降溫斜率制功能。
★PID參數(shù)自整定功能。
★系統(tǒng)故障的檢測(cè)與報(bào)警功能。
★停電后斷點(diǎn)繼續(xù)運(yùn)行功能。
★工藝氣體的程序控制功能（電磁閥質(zhì)量流量控制器）。
★可根據(jù)用戶的特殊要求增減或開發(fā)相應(yīng)的功能。
相關(guān)推薦
其他供應(yīng)
-
單價(jià)：電議 元
-
單價(jià)：電議 元
-
單價(jià)：電議 元
-
單價(jià)：電議 元
-
單價(jià)：電議 元
-
單價(jià)：電議 元
-
單價(jià)：電議 元
相關(guān)推薦
免責(zé)申明：以上所展示的信息由企業(yè)自行提供，內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由發(fā)布企業(yè)負(fù)責(zé)，鋁道網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。為保障您的利益，我們建議您選擇鋁道網(wǎng)的 鋁業(yè)通會(huì)員。友情提醒：請(qǐng)新老用戶加強(qiáng)對(duì)信息真實(shí)性及其發(fā)布者身份與資質(zhì)的甄別，避免引起不必要
風(fēng)險(xiǎn)提示：創(chuàng)業(yè)有風(fēng)險(xiǎn)，投資需謹(jǐn)慎。打擊招商詐騙，創(chuàng)建誠(chéng)信平臺(tái)。維權(quán)舉報(bào)：0571-89937588。
- 青島育豪微電子設(shè)備有限公司
- 經(jīng)營(yíng)模式：制造商
- 主營(yíng)：擴(kuò)散爐系列,真空爐系列,鏈?zhǔn)剿淼罓t系列,氫氣爐系列,砷化鎵單晶爐系列,LED專用設(shè)備,太陽(yáng)能光伏擴(kuò)散爐,磁性材料專用設(shè)備
- 地區(qū)：山東 青島
