全自動擴散爐

功能特點：
擴散爐應用于半導體器件、分立器件、光電子器件、電力電子器件、及大規(guī)模集成電路制造等領域?qū)�晶片進行擴散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝，可用于28英寸工藝尺寸。
★全中文windows操作界面，可編輯參數(shù)，操作方便。
★可保存多條工藝曲線，每條曲線可設置多步。
★工藝曲線的自動運行控制功能。  
★自動運行中可暫停繼續(xù)運行功能。
★工藝中可強制跳到下一個工藝步運行功能。  
★智能升降溫斜率制功能。
★PID參數(shù)自整定功能。  
★系統(tǒng)故障的檢測與報警功能。
★智能懸臂推拉舟控制功能。 
★停電后斷點繼續(xù)運行功能。
★工藝氣體的程序控制功能（電磁閥質(zhì)量流量控制器）。
★可根據(jù)用戶的特殊要求增減或開發(fā)相應的功能。

主要技術(shù)指標：
★爐管內(nèi)徑：¢90~¢300（2英寸~8英寸）  
★恒溫區(qū)長度及精度：&le1250mm±0.5（300℃~1290℃）
★控溫儀表：進口高精度控溫儀  
★氣源路數(shù)：主管道1~4路  
★氣體種類：N2、H2、O2、HCL等
★氣源控制：MFC或浮子流量計 
★推拉舟行程：2000mm
★推拉舟速度范圍及精度：（20~1000）±2mmmin   
★推拉舟方式：簡易式、懸臂式、SiC硅槳式
★冷卻方式：水冷+風冷   
★工控機：工控機控制
設備特性：
具有多條工藝曲線，調(diào)用方便快捷；運行中，具有停電記憶功能觸摸微機界面，操作方便；具有超溫保護功能 。