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供應擴散爐擴散/氧化系統(tǒng)是半導體器件及大規(guī)模集成電路制造過程中用于對晶片進行擴散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝的一種熱加工設(shè)備。其組成有：加熱爐（擴散爐主機）、凈化工作臺、送片系統(tǒng)（推拉舟系統(tǒng)）、氣源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等。1、全中文操作界面，可編輯參數(shù)，操作簡便。2、可保存多條工藝曲線，每條曲線可設(shè)置
2017-06-07 1/臺 -
供應程控擴散爐程控擴散爐主要滿足半導體電力電子器件、大功率集成電路等行業(yè)，對所加工的硅片進行擴散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴散爐加熱爐體、氣源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、超凈化操作系統(tǒng)等組成。選用工控機微控方式或者程控方式操作。程控擴散爐技術(shù)指標：u可處理硅片尺寸：2—12英寸u
2013-09-17 50000/臺