青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司

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主營(yíng)：擴(kuò)散爐,氧化擴(kuò)散爐,鏈?zhǔn)綗Y(jié)爐,管式真空爐,真空燒結(jié)爐,氫氣還原爐,led合金爐,soft

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  • 供應(yīng)擴(kuò)散爐
    供應(yīng)擴(kuò)散爐

    擴(kuò)散/氧化系統(tǒng)是半導(dǎo)體器件及大規(guī)模集成電路制造過程中用于對(duì)晶片進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝的一種熱加工設(shè)備。其組成有：加熱爐（擴(kuò)散爐主機(jī)）、凈化工作臺(tái)、送片系統(tǒng)（推拉舟系統(tǒng)）、氣源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等。1、全中文操作界面，可編輯參數(shù)，操作簡(jiǎn)便。2、可保存多條工藝曲線，每條曲線可設(shè)置

    2017-06-07 1/臺(tái)
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