青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司
已認(rèn)證
主營(yíng)：擴(kuò)散爐,氧化擴(kuò)散爐,鏈?zhǔn)綗Y(jié)爐,管式真空爐,真空燒結(jié)爐,氫氣還原爐,led合金爐,soft
產(chǎn)品描述
程控?cái)U(kuò)散爐主要滿足半導(dǎo)體電力電子器件、大功率集成電路等行業(yè)，對(duì)所加工的硅 片進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴(kuò)散爐加熱爐體、氣源系統(tǒng)、
控制系統(tǒng)、超凈化操作系統(tǒng)等組成。選用工控機(jī)微控方式或者程控方式操作。 程控?cái)U(kuò)散爐技術(shù)指標(biāo)： u可處理硅片尺寸：2—12英寸 u外型形式：臥式1—4管結(jié)構(gòu) u工作溫度：200℃—1300℃ u恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃ u單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性：≤±1℃／24h u溫度斜變：可控升溫速率15℃／min u可控降溫速率：5℃／min u送片裝置：手動(dòng)推拉 u氣路系統(tǒng)：1—5路工藝氣體／管 u氣體控制：手動(dòng)浮子流量計(jì) u控制方式：程控
相關(guān)推薦
其他供應(yīng)
-
單價(jià)：50000 元
相關(guān)推薦
免責(zé)申明：以上所展示的信息由企業(yè)自行提供，內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由發(fā)布企業(yè)負(fù)責(zé)，鋁道網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。為保障您的利益，我們建議您選擇鋁道網(wǎng)的 鋁業(yè)通會(huì)員。友情提醒：請(qǐng)新老用戶加強(qiáng)對(duì)信息真實(shí)性及其發(fā)布者身份與資質(zhì)的甄別，避免引起不必要
風(fēng)險(xiǎn)提示：創(chuàng)業(yè)有風(fēng)險(xiǎn)，投資需謹(jǐn)慎。打擊招商詐騙，創(chuàng)建誠(chéng)信平臺(tái)。維權(quán)舉報(bào)：0571-89937588。
- 青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司
- 經(jīng)營(yíng)模式：制造商
- 主營(yíng)：擴(kuò)散爐,氧化擴(kuò)散爐,鏈?zhǔn)綗Y(jié)爐,管式真空爐,真空燒結(jié)爐,氫氣還原爐,led合金爐,soft
- 地區(qū)：山東 青島
聯(lián)系方式
留言咨詢
