主營(yíng):擴(kuò)散爐,氧化擴(kuò)散爐,鏈?zhǔn)綗Y(jié)爐,管式真空爐,真空燒結(jié)爐,氫氣還原爐,led合金爐,soft
程控?cái)U(kuò)散爐主要滿足半導(dǎo)體電力電子器件、大功率集成電路等行業(yè),對(duì)所加工的硅片進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴(kuò)散爐加熱爐體、氣源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、超凈化操作系統(tǒng)等組成。選用工控機(jī)微控方式或者程控方式操作。程控?cái)U(kuò)散爐技術(shù)指標(biāo):u可處理硅片尺寸:2—12英寸u
2013-09-17 50000/臺(tái)