產(chǎn)品描述
等離子體增強化學氣相沉積法。
設備介紹： 本設備是借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發(fā)生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜。為了使化學反應能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的活性來促進反應，因而這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)。
產(chǎn)品簡介：此款設備配有Plasma實現(xiàn)等離子增強，滑軌式設計在操作時可將實驗需要的恒定高溫直接推到樣品處，使樣品能得到一個快速的升溫速度，同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處，使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下，得到快速的降溫速率。并可選配氣氛微調裝置，可準確的控制反應腔體內部的氣體壓力，帶刻度的調節(jié)閥對于做低壓CVD非常簡單實用，工藝重復性好，對于石墨烯生長工藝非常合適，也同樣適用于要求快速升降溫的CVD實驗。
主要組成系統(tǒng)及特點：
本設備主要由管式加熱爐體，真空系統(tǒng)，質子流量供氣系統(tǒng)，射頻等離子源，石英反應腔室等部件組成。
主要特點：
1、通過射頻電源把石英真空室內的氣體變?yōu)殡x子態(tài)。
2、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積所需的溫度更低。
3、可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應力大小。
4、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高。
5、廣泛應用于：各種薄膜的生長，如：SiOx, SiNx, SiOxNy和無定型硅(a-Si:H)等。
|
開啟式真空管式爐技術參數(shù) |
|||||
|
|
石英管尺寸 |
L1400mm *（根據(jù)需求選擇不同直徑的石英管作為反應室。有Φ40，Φ60，Φ80，Φ100，Φ120，Φ150等規(guī)格可選。） |
|||
|
加熱元件 |
摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲 |
||||
|
測溫元件 |
K型熱電偶 |
||||
|
加熱區(qū)長度 |
400mm |
||||
|
恒溫區(qū)長度 |
200mm |
||||
|
工作溫度 |
≤1100℃ |
||||
|
控溫模式 |
模糊PID控制和自整定調節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶啟動緊急信號功能 |
||||
|
控溫精度 |
±1℃ |
||||
|
升溫速率 |
≤20℃/min |
||||
|
電功率 |
AC220V/50HZ/3KW |
||||
|
質量供氣系統(tǒng)技術參數(shù)（根據(jù)需求選擇多路質子流量供氣系統(tǒng)。有兩路GQ-2Z，三路GQ-2Z，四路GQ-2Z，五路GQ-2Z或更多路供選擇。） |
|||||
|
|
外形尺寸 |
600x600x600mm |
|||
|
標準量程 |
50sccm（CH4）、200sccm（H2）、500sccm（Ar、N2）； |
||||
|
數(shù)顯壓力表測量范圍 |
-0.1Mpa～0.15Mpa |
||||
|
較限壓力 |
3MPa |
||||
|
針閥 |
316不銹鋼 |
||||
|
截止閥 |
Φ6mm 316不銹鋼針閥 |
||||
|
電功率 |
AC220V/50HZ/20W |
||||
|
響應時間 |
氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
||||
|
準確度 |
±1.5% |
||||
|
線性 |
±0.5～1.5% |
||||
|
重復精度 |
±0.2% |
||||
|
接口 |
Φ6,1/4 |
||||
|
真空系統(tǒng)技術參數(shù)（根據(jù)需求選擇不同真空效果的真空系統(tǒng)。有DZK10-1（較限真空0.1Pa），GZK10-3（較限真空0.001Pa），以及進口高真空機組（較限真空0.0001Pa）供選擇。） |
|||||
|
|
外型尺寸 |
600×600×600mm |
|||
|
工作電電壓 |
220V±10% 50~60HZ |
||||
|
功率 |
400W |
||||
|
抽氣速率 |
4L\s |
||||
|
較限真空 |
4X10-2Pa |
||||
|
實驗真空度 |
1.0X10-1Pa |
||||
|
容油量 |
1.1L |
||||
|
進氣口口徑 |
KF25 |
||||
|
排氣口口徑 |
KF25 |
||||
|
轉速 |
1450rpm |
||||
|
射頻電源（根據(jù)需求選擇強度不同的射頻電源。有DLZ300（300W），DLZ500（500W）或更大功率的射頻電源供選擇） |
|||||
|
|
信號頻率 |
13.56 MHz±0.005% |
|||
|
功率輸出范圍 |
5-300W 5W-500W可選 |
||||
|
非常大反射功率 |
200W |
||||
|
射頻輸出接口 |
50 Ω, N-type, female |
||||
|
功率穩(wěn)定度 |
±0.1% |
||||
|
諧波分量 |
≤-50dbc |
||||
|
供電電壓 |
單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ |
||||
|
整機效率 |
>=70% |
||||
|
功率因素 |
>=90% |
||||
|
冷卻方式 |
強制風冷 |
||||
相關推薦
其他供應
-
單價：9988 元
-
單價：6999 元
-
單價：9999 元
相關推薦
免責申明：以上所展示的信息由企業(yè)自行提供，內容的真實性、準確性和合法性由發(fā)布企業(yè)負責，鋁道網(wǎng)對此不承擔任何保證責任。為保障您的利益，我們建議您選擇鋁道網(wǎng)的 鋁業(yè)通會員。友情提醒：請新老用戶加強對信息真實性及其發(fā)布者身份與資質的甄別，避免引起不必要
風險提示：創(chuàng)業(yè)有風險，投資需謹慎。打擊招商詐騙，創(chuàng)建誠信平臺。維權舉報：0571-89937588。
- 昆山艾科迅機械有限公司
- 經(jīng)營模式：制造商+服務商
- 主營：高溫馬弗爐,真空管式爐,真空氣氛爐,升降爐,真空電阻爐,PECVD管式爐,真空氣淬爐,真空井式爐
- 地區(qū)：江蘇 蘇州
