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氟氧化釔 氟化釔 氧化釔
作為半導(dǎo)體製造設(shè)備內(nèi)部的保護(hù)性塗層，半導(dǎo)體乾蝕設(shè)備內(nèi)部暴於高反應(yīng)性鹵素或氧系電漿。若非耐電漿材料元件(如，石英玻璃、氧化鋁和陽極化的鋁)以原本狀態(tài)使用，則會發(fā)生表面腐蝕而伴隨著生成粒子，其造成半導(dǎo)體上之微觀電路的缺陷。因此，於半導(dǎo)體製造設(shè)備之待外露的表面提供用以賦予抵禦電漿的耐蝕性和保護(hù)設(shè)備之元
2024-12-04 2/KG