產品描述
作為半導體製造設備內部的保護性塗層，半導體乾蝕設備內部暴於高反應性鹵素或氧系電漿。若非耐電漿材料元件(如，石英玻璃、氧化鋁和陽極化的鋁)以原本狀態(tài)使用，則會發(fā)生表面腐蝕而伴隨著生成粒子，其造成半導體上之微觀電路的缺陷。因此，於半導體製造設備之待外露的表面提供用以賦予抵禦電漿的耐蝕性和保護設備之元件的保護性塗層。此保護性塗層之一是對於種類繁多的電漿展現(xiàn)耐蝕性的氟氧化釔。
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單價：2 元
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- 經(jīng)營模式：貿易商+進出口商
- 主營：球型氧化鋁,高純氧化鋁,氧化鋁,氮化鋁,銦鎵紅磷,瀝青基碳纖維,氧化鋅,各類導熱填料
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