Suzhou East Purity Equipments
主營:氣體純化裝置,氨分解氣純化設(shè)備,氨分解制氫裝置,氨分解制氮裝置,變壓吸附制氫裝置,變壓吸附制氮裝置,氬氣凈化機(jī),氫氣凈化機(jī)
工作原理
YA-A型高純氬氣純化裝置采用非蒸散型鋯鋁16吸氣劑為凈化劑,在一定的溫度下,吸氣劑可與氬氣中的微量雜質(zhì)O2、N2、H2、H2O、CO、CO2、CH4等等形成穩(wěn)定的化合物或固溶體,從而達(dá)到對氬氣精制的目的。
主要技術(shù)指標(biāo)
雜質(zhì)要求:
雜質(zhì) |
N2 |
O2 |
CO2 |
CH4 |
露點(diǎn) |
含量ppm |
<100 |
≤15 |
<5 |
<5 |
-50℃ |
處理氣量:1-300m3/h
工作壓力0.2-0.4MPa
純氬純度:
雜質(zhì) |
N2 |
O2 |
CO2 |
CH4 |
露點(diǎn) |
含量ppm |
≤0.2 |
≤0.2 |
≤0.5 |
≤0.5 |
-70℃ |
含塵量 |
≤3.5顆/升(對于粒徑≥0.5μm塵埃) |
3.凈化劑壽命:每爐可處理99.99%的氬氣2500-3750m3
4.操作溫度:700-740℃
5.外形尺寸:寬450*深760*高1457mm
6.電源:-50H 220V
7.功耗:1.2Kw
8.重量:≈120Kg
色譜儀,光譜儀, 質(zhì)譜儀配套氬氣純化裝置
本裝置系采用非蒸散型鋯鋁16吸氣劑及5A分子篩為凈化劑。在一定的溫度下,吸氣劑可與氬氣中的微量雜質(zhì)O2、N2、H2、H2O、CO、CH4等等形成穩(wěn)定的化合物或固溶體,從而達(dá)到對氬氣精制之目的。
技術(shù)保障措施;
1 組合式純化工藝,分級處理。
2 凈化器采用特殊結(jié)構(gòu)和裝料方法,流速設(shè)計(jì)合理,氣流分布均勻。
3 凈化爐采用特殊設(shè)計(jì)的加熱構(gòu)造,加熱均勻、穩(wěn)定。
4 采用優(yōu)質(zhì)管件,閥門,避免管道和閥門影響氣體質(zhì)量。
5 采用優(yōu)質(zhì)的電器元件和控制儀表,保證溫度穩(wěn)定,減少溫度和影響。
6 凈化器的活化程序,嚴(yán)格按照活化程序執(zhí)行,根據(jù)現(xiàn)場實(shí)際情況適當(dāng)調(diào)整。
7 對用戶的操作員進(jìn)行設(shè)備操作培訓(xùn),了解設(shè)備工作原理,掌握設(shè)備操作方法,熟悉設(shè)備的開車、停車、停電、停水處理方法。
8 對用戶設(shè)備建立檔案,及時(shí)提醒用戶對設(shè)備進(jìn)行例行檢查和維護(hù)。是設(shè)備處在工作狀態(tài)。
本裝置可與區(qū)熔硅單晶爐配套使用,也可用于激光器、濺射、真空濺射鍍膜機(jī)。半導(dǎo)體生產(chǎn)、光譜儀,氣相色譜儀、特殊燈泡、稀有金屬加工等需要用高純氬氣的生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。
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