隨著社會的不斷進(jìn)步,世界已然進(jìn)入了信息化時代。而信息技術(shù)的快速發(fā)展,成功推進(jìn)了科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及國民經(jīng)濟(jì)的跨越。信息技術(shù)包括測量技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)和通信技術(shù)。毫無疑問,測量技術(shù)是關(guān)鍵和基礎(chǔ)。所以儀器儀表(尤其是測量型儀器儀表)可以說是信息產(chǎn)業(yè)和的源頭和重要組成部分。
在對工件表面質(zhì)量要求高的如納米材料、航空航天、半導(dǎo)體等領(lǐng)域中,現(xiàn)有的接觸式測量方法具有測量速度慢、易劃傷測量表面的缺點(diǎn),而單一的光學(xué)非接觸測量方法難以完成對大面形或曲率較大的高反射曲面零件三維形貌的高精度測量,只有非接觸式輪廓測量儀才能達(dá)到微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量。
中圖儀器SuperView W1非接觸式輪廓測量儀讓輪廓測量價格更為實(shí)惠,分辨率0.1μm,重復(fù)性0.1%,應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,操作簡便,可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、彎曲變形情況、磨損情況、腐蝕情況、粗糙度、孔隙間隙、表面缺陷、波紋度、臺階高度、面形輪廓、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
產(chǎn)品性能特征
1、高精度、高重復(fù)性
3D重建算法、Z向掃描模塊和光學(xué)干涉技術(shù)組成的測量系統(tǒng),以及能有效隔離2Hz以上頻率的隔振系統(tǒng),保證了測量精度和測量重復(fù)性。
2、一體化操作的測量分析軟件
測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計(jì),可視化窗口,結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能,實(shí)現(xiàn)了快速批量測量的功能,自動完成多區(qū)域的測量與分析過程。
3、操縱手柄
集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成Z向聚焦、載物臺平移、找條紋等測量前工作。
4、雙重防撞保護(hù)措施
(1)軟件防撞保護(hù)ZSTOP
即在Z軸上設(shè)置停止位,設(shè)置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離,當(dāng)鏡頭運(yùn)動到該位置時,就立刻停止不再向下運(yùn)動,起到保護(hù)樣品和鏡頭的作用。
(2)Z軸硬件防撞傳感器
在鏡頭的上方安裝械防撞傳感器,當(dāng)鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時,觸發(fā)感應(yīng)器,鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|,并觸發(fā)緊急停止開關(guān),不再響應(yīng)向下位移的指令,避免鏡頭和樣品的損傷,雙重防護(hù),守護(hù)設(shè)備和產(chǎn)品,也守護(hù)每一分價值和信任。
中圖儀器SuperView W1非接觸式輪廓測量儀?應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,操作簡便,可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。
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