SJ6000激光干涉儀用途

一.SJ6000激光干涉儀概述

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用美國進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計(jì)、高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測(cè)量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學(xué)鏡組可以測(cè)量出線性、角度、直線度、平面度和垂直度等幾何量，并且可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)分析。

 

二.SJ6000激光干涉儀顯著特點(diǎn)

1.測(cè)量精度高、速度快，穩(wěn)定性好

①使用美國高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)

②以光波長(633nm)為測(cè)量單位，分辨率可達(dá)nm級(jí)

③使用高速光電信號(hào)采樣和處理技術(shù)，測(cè)量速度可達(dá)到4m/s。

④配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測(cè)量精度

⑤分離式干涉鏡設(shè)計(jì)，避免了測(cè)量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變

2. 應(yīng)用范圍廣

①可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢驗(yàn)

②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動(dòng)分析以及穩(wěn)定度等分析

③可實(shí)時(shí)監(jiān)控準(zhǔn)確加工機(jī)床等機(jī)器的動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析

3.軟件界面友好

①使用當(dāng)前熱門的軟件界面開發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡(jiǎn)單。

②將靜態(tài)測(cè)量和動(dòng)態(tài)測(cè)量兩種功能合并到一個(gè)軟件中，更方便用戶切換測(cè)量類型。

③向?qū)�式操作，流程清晰，更符合國�?nèi)用戶的使用習(xí)慣。

4 性價(jià)比高

性能達(dá)到了國外儀器的水準(zhǔn)，價(jià)格是國內(nèi)儀器的良心價(jià)。

 

三.SJ6000激光干涉儀用途

激光干涉儀是檢定數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)位置精度的理想工具，可按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)處理測(cè)量數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線，為數(shù)控機(jī)床的誤差 修正提供可靠依據(jù)，現(xiàn)場(chǎng)使用尤為方便。

激光干涉儀配有各種附件，可測(cè)量小角度、平面度、直線度、平 行度、垂直度等形位誤差。

激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器，可直接用于高精度、大 尺寸的動(dòng)態(tài)位移測(cè)量系統(tǒng)。

激光干涉儀具有對(duì)光柵、磁柵、線紋尺、感應(yīng)同步器等準(zhǔn)確測(cè)量 元件的檢驗(yàn)和刻劃功能，可按預(yù)定的間距自動(dòng)完成檢驗(yàn)和刻劃定位。

 

四.SJ6000激光干涉儀技術(shù)參數(shù)

      系統(tǒng)性能

?    測(cè)量方式：?jiǎn)晤l

?    穩(wěn)頻精度：0.05ppm

?    動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz

?    預(yù)熱時(shí)間：5-10分鐘

?    工作溫度范圍：0~38℃

?    環(huán)境溫度范圍：0~38℃，環(huán)境濕度：0~95%

?    存儲(chǔ)溫度范圍：-20℃~70℃

      環(huán)境補(bǔ)償示值誤差

?    空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

?    材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

?    空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)

?    大氣壓力傳感器：±0.1kPa

      線性測(cè)量

?    測(cè)量距離：0-40m

?    測(cè)量精度：0.5ppm (0-38℃)

?    測(cè)量分辨率：1nm

?    測(cè)量非常大速度：3m/sec