KRi 射頻離子源 RFICP 380

因產(chǎn)品配置不同，價(jià)格貨期需要電議，圖片僅供參考，一切以實(shí)際成交合同為準(zhǔn)。

大口徑射頻離子源 RFICP 380
上海伯東美國 KRI 大口徑射頻離子源 RFICP 380, 3層?xùn)艠O設(shè)計(jì), 柵極口徑 38cm, 提供離子動(dòng)能 100-1200eV 寬束離子束, 套裝包含離子源本體和電源控制器.
-------------- 離子源自動(dòng)控制器 --------------   -------- 射頻離子源 RFICP 380 本體 ----

射頻離子源 RFICP 380 特性
1. 放電腔 Discharge Chamber, 無需電離燈絲, 通過射頻技術(shù)提供高密度離子, 工藝時(shí)間更長. 2kW & 1.8 MHz, 射頻自動(dòng)匹配
2. 離子源結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計(jì)
3. 離子光學(xué), 自對準(zhǔn)技術(shù), 準(zhǔn)直光束設(shè)計(jì), 自動(dòng)調(diào)節(jié)技術(shù)保障柵極的使用壽命和可重復(fù)的工藝運(yùn)行
4. 全自動(dòng)控制器
5. 離子束動(dòng)能 100-1200eV

射頻離子源 RFICP 380 技術(shù)規(guī)格:

陽極	電感耦合等離子體 2kW & 1.8 MHz 射頻自動(dòng)匹配
較大陽極功率	>1kW
較大離子束流	> 1000mA
電壓范圍	100-1500V
離子束動(dòng)能	100-1200eV
氣體	Ar, O2, N2,其他
流量	5-50sccm
壓力	< 0.5mTorr
離子光學(xué), 自對準(zhǔn)	OptiBeamTM
離子束柵極	38cm Φ
柵極材質(zhì)	鉬或石墨
離子束流形狀	平行,聚焦,散射
中和器	LFN 2000
高度	38.1 cm
直徑	58.2 cm
鎖緊安裝法蘭	12”CF

射頻離子源 RFICP 380 尺寸:


大口徑射頻離子源典型應(yīng)用:
射頻離子源安裝在 1650 mm 蒸鍍機(jī)中, 實(shí)現(xiàn)離子輔助鍍膜 IBAD 及預(yù)清潔 Pre-clean, 完成 LED-DBR 鍍膜生產(chǎn)

在高倍顯微鏡下檢視脫膜測試

--------- 使用其他品牌離子源---     --------------------- 使用美國 KRI 射頻離子源 ----------------------

從上圖可以清楚看出, 使用其他品牌離子源, 樣品存在崩邊的問題; 使用上海伯東美國 KRI 射頻離子源, 樣品無崩邊

1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國創(chuàng)立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發(fā)生產(chǎn)考夫曼離子源, 霍爾離子源和射頻離子源. 美國考夫曼離子源歷經(jīng) 40 年改良及發(fā)展已取得多項(xiàng)****. 離子源廣泛用于離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 領(lǐng)域, 上海伯東是美國考夫曼離子源中國總代理.

 

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