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HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列

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單價：電議

最小起訂量： 1個

所在地：上海上海

供貨總量： 1000個

發(fā)布時間：2023-12-20

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HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列
上海伯東美國 HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列是專為較苛刻的真空環(huán)境而設(shè)計. HVA 真空閘閥 71000 系列由堅固的不繡鋼剛坯在 1100°C, 1x10^-6 mbar 條件下加工成形, 真空閘閥兩側(cè)密封的門上雙密封設(shè)計, 閥門內(nèi)部幾乎沒有移動部件, 較大限度減少粒子的生成. 免維護設(shè)計(不繡鋼波紋管與工藝過程分離). 適用于 MOCVD, ALD, PECVD 等典型的嚴酷的應(yīng)用.

HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列特性:
易于系統(tǒng)集成, 幾乎滿足所有應(yīng)用
不繡鋼波紋管與工藝過程分離 - 免維護
真空閘閥堅固的雙重密封設(shè)計和低粒子
使用壽命 > 250,000 cycles 啟閉次數(shù)
高壓和機械加工的不銹鋼閥體
真空閘閥口徑 DN 50-200 mm
手動或氣動控制
標準法蘭口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客戶定制
真空閘閥較大烘烤溫度 250°C
全部美國設(shè)計, 制造, 組裝, ****進口

HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列參數(shù):

閥門材質(zhì):
- 閥門主體	304 不銹鋼
- 焊接波紋管軸封	AM - 350
閥門密封方式
- 高真空	氟橡膠
真空:
- 壓力范圍	高真空 1x10^-9mbar
- 漏率	< 2x10^-9 mbar l/S
- 差壓關(guān)閉	2 bar (任意位置)
- 開啟前較大壓力	≤ 1 bar
烘烤溫度（不含電磁閥）:
- 佛橡膠密封	150 °c, 可選配置較大 250 °c
- 驅(qū)動方式	手動 60 °c, 氣動 60 °c
- 氣體	80 psig (5.5 bar)
- 電磁	4.0 Watts
- 供電	120 VAC 50 /60 Hz
- 可選電壓	24, 200, 240 VAC 50/60 Hz 或 12, 24 VDC
- 位置指示器,較大	115 VAC 或 28 VDC, 20 mA
使用壽命: > 250,000 啟閉次數(shù) (具體視實際使用情況決定)
公稱通徑: DN 50 - 200 mm

HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列部件圖:

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