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包裝說明:
木箱包裝
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品牌:
貝意克
Anhui BEQ Equipment Techonology Co., Ltd
主營(yíng):管式爐,箱式爐,CVD系統(tǒng),PECVD系統(tǒng),升華儀
包裝說明:
木箱包裝
品牌:
貝意克
一、設(shè)備特點(diǎn):
1、本設(shè)備提供一個(gè)五溫區(qū)的超長(zhǎng)溫場(chǎng),五個(gè)溫區(qū)可單獨(dú)控制
2、保溫材料采用氧化鋁纖維防塵處理,上下可電動(dòng)開啟。
3、流量計(jì)和加熱采用模塊化設(shè)計(jì),便于維護(hù)保養(yǎng)。
4、加熱元件采用康泰爾摻鉬合金電阻絲,zui高使用溫度可以達(dá)到1200度,使用壽命長(zhǎng),溫場(chǎng)流場(chǎng)均勻。
5、采用觸摸屏和工控電腦自動(dòng)控制,參數(shù)設(shè)置和操作直觀方便,參數(shù)自動(dòng)記錄保持。
6、設(shè)備集成化設(shè)計(jì)、以及集成化管理,美觀方便。
二、設(shè)備組成:
加熱系統(tǒng),爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng),螺旋送料系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、工控及操作系統(tǒng)。
1、加熱系統(tǒng):
該加熱系統(tǒng)的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其較低的熱導(dǎo)率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研溫,電力調(diào)制器控制;負(fù)載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命,測(cè)溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù),無須操作人單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,適合中低溫度加熱系統(tǒng)。
高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負(fù)反饋控制系統(tǒng),控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控員的干預(yù),可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號(hào),同時(shí)系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶啟動(dòng)緊急信號(hào)保護(hù)功能,大大降低了對(duì)操作人員經(jīng)驗(yàn)的要求。
2、爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng):
爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)可以讓爐管360?勻速轉(zhuǎn)動(dòng),轉(zhuǎn)速在0-60r/min連續(xù)可調(diào),且能在60r/min轉(zhuǎn)速下長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行。管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)得更均勻。
3、螺旋送料器:
先將樣品儲(chǔ)存于樣品罐中,通過螺旋送料器將樣品送入石英管內(nèi)。樣品送完之后送料桿退回到原始位置。周而復(fù)始,達(dá)到自動(dòng)送料。
4、供氣系統(tǒng):
供氣系統(tǒng)是一種可控制三種氣體按不同流量進(jìn)行混合配比,也可根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求加裝洗氣裝置,質(zhì)量流量計(jì)安裝于密封的可移動(dòng)機(jī)柜內(nèi),由超潔雙拋不銹鋼管與準(zhǔn)確雙卡套接頭連接組成,觸摸屏控制。
5、真空系統(tǒng):
真空機(jī)組,內(nèi)部安裝BSV-60機(jī)械泵1臺(tái),電阻真空計(jì)1套,并含有配套使用的波紋管,手動(dòng)擋板閥,卡箍等連接部件。
三、加熱主體設(shè)備技術(shù)參數(shù):
腔體尺寸 |
外徑Φ280 ,Φ300,Φ400,Φ500,Φ600尺寸可選 (中間異型區(qū)域尺寸) |
爐膛保溫材料 |
氧化鋁纖維 |
表面溫度 |
≤60℃ |
加熱元件 |
進(jìn)口KTL電阻絲 |
加熱區(qū)數(shù)量 |
5區(qū),每個(gè)溫度單獨(dú)控制,使溫場(chǎng)均勻性更好 |
加熱區(qū)長(zhǎng)度 |
300 300 300 300 300mm |
恒溫區(qū)長(zhǎng)度 |
真空條件兩端加氧化鋁管堵的情況下,兩個(gè)溫區(qū)設(shè)定同一溫度是恒溫區(qū)可達(dá)1200mm |
zui高溫度 |
1200℃ |
建議長(zhǎng)時(shí)間使用溫度 |
<1100℃ |
控溫精度 |
?1℃ |
升溫速率 |
0-20℃/min,建議升溫速率10℃/min |
設(shè)備功率 |
28KW |
設(shè)備工作電源 |
380V/50HZ |
熱電偶型號(hào) |
K型 |
控制器 |
可編程控溫儀表,PID調(diào)節(jié),升、降保溫全自動(dòng) |
控溫方式 |
人機(jī)界面加PLC控制,10寸液晶屏控制,數(shù)字工控儀表雙控,采用工業(yè)智能控溫儀表和軟件實(shí)現(xiàn)雙控,采用模糊型PID控制 |
無紙記錄 |
內(nèi)置存儲(chǔ)記錄運(yùn)行工藝數(shù)據(jù),外接USB接口,可以電腦連接一鍵拷貝數(shù)據(jù) |
結(jié)構(gòu)描述 |
設(shè)備可對(duì)半電動(dòng)開啟,加快冷卻速度、表面溫度低于60℃ |
轉(zhuǎn)動(dòng)密封收集系統(tǒng) |
爐管一端配有不銹鋼密封可轉(zhuǎn)動(dòng)水冷法蘭、螺旋送料裝置 |
四、3路供氣系統(tǒng)參數(shù)
連接頭類型 |
雙卡套不銹鋼接頭 |
標(biāo)準(zhǔn)量程(N2) |
500sccm、1000sccm、2000sccm(量程型號(hào)根據(jù)要求定制) |
zuida壓力 |
3MPa |
接口 |
Φ6 |
顯示 |
液晶屏顯示 |
工作環(huán)境溫度 |
5~45高純氣體 |
內(nèi)外雙拋不銹鋼管 |
Φ6 |
壓力真空表 |
-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止閥 |
Φ6卡套接頭 |
五、真空機(jī)組參數(shù):
空氣相對(duì)濕度 |
≤85% |
工作環(huán)境 |
5℃~40℃ |
工作電電壓 |
220V?10% 50~60HZ |
功率 |
1千瓦 |
抽氣速率 |
60m?/h |
較限真空 |
5X10-1Pa |
工作壓力范圍 |
1.01325X105~1.33X10-2Pa |
耐壓值 |
0.03MPa |
容油量 |
1.1L |
進(jìn)氣口口徑 |
KF40 |
排氣口口徑 |
KF40 |
連接方式 |
采用波紋管,手動(dòng)擋板閥與波紋管相連 |
電阻真空計(jì)參數(shù): |
|
配用規(guī)管: |
ZJ-52T電阻規(guī), |
測(cè)量范圍: |
10 5 ~10 -1 Pa, |
測(cè)量路數(shù): |
1路 |
控制范圍: |
5?10 3 ~5?10 -1 Pa, |
控制方式: |
繼電器觸點(diǎn)輸出,負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負(fù)載 |
電源: |
90-260V/50Hz或220V ? 10% 50Hz, |
功耗: |
20W |
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