單工位快速退火爐

設(shè)備特點(diǎn)：

該款設(shè)備是由單端封口小型紅外滑軌爐、 電機(jī)調(diào)速裝置、高真空機(jī)組、進(jìn)出氣口及操作控制界面組成，內(nèi)控?zé)犭娕加糜诳刂芌TP滑軌爐內(nèi)的溫度，伺服電機(jī)用于控制絲桿的轉(zhuǎn)動(dòng)速度達(dá)到控制爐管（樣品）移除爐膛的速度，從而用于調(diào)節(jié)爐管（樣品）的降溫速度，與之相反可以得到較快的升溫速率；出氣口通過連接手動(dòng)擋板閥、波紋管用于對石英艙體內(nèi)的真空獲取，進(jìn)氣口除用于通入保護(hù)氣體或反應(yīng)氣體外，還可以用于移出爐膛后通入氣體帶走熱量的快速降溫，以此獲得較高的降溫速率。

結(jié)構(gòu)與原理：

設(shè)備組成：單端封口小型紅外滑軌爐、 電機(jī)調(diào)速裝置、高真空機(jī)組、流量控制系統(tǒng)及工控電腦操作系統(tǒng)。

（1）單端封口小型紅外滑軌爐

該加熱系統(tǒng)采用全部先進(jìn)制造工藝，造型新穎結(jié)構(gòu)合理，爐體爐管可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)分離，爐體上下兩半設(shè)計(jì)，氣動(dòng)彈簧支撐結(jié)構(gòu)讓操作者可各角度自由打開，安全可靠。爐膽采用高密度純氧化鋁聚輕纖維材料真空吸附成型，表面涂覆高反射率的非常高溫保護(hù)涂層，除能夠保持其能量的低損耗，還能增強(qiáng)高溫穩(wěn)定性，可有效減少熱能損耗。

該滑軌爐加熱系統(tǒng)由紅外燈管加熱，采用內(nèi)插熱電偶控溫的方式實(shí)時(shí)顯示石英腔體內(nèi)部溫度，加熱區(qū)長度為370mm，恒溫區(qū)長度200mm，確保兩個(gè)φ100*100mm的夾具可放置在恒溫區(qū)內(nèi)，為讓樣品在爐管內(nèi)的中心位置，考慮石英置物架的高度，石英管管徑綜合考慮在210mm，恒溫區(qū)200mm內(nèi)的溫場均勻性控制在?5℃，升溫速率≤30℃/s, 整個(gè)石英腔體直接劃出爐膛，樣品降溫過程可在通入一定量保護(hù)氣體的條件下快速降溫，平均降溫速率可達(dá)到2℃/s， 試樣反應(yīng)區(qū)處在一個(gè)密閉的石英腔體內(nèi)，在完成工藝的同時(shí)大大降低了間接污染試樣的可能性。采用石英管堵維持爐內(nèi)的溫場均勻性及石英艙體內(nèi)的潔凈度。

（2）電機(jī)調(diào)速裝置：

伺服電機(jī)調(diào)速裝置用于控制絲桿的轉(zhuǎn)動(dòng)速度，達(dá)到控制爐管部分的整體移動(dòng)速度（含樣件），以此調(diào)整快速升降溫的目標(biāo)速率，電機(jī)旋轉(zhuǎn)速度實(shí)時(shí)顯示并且可控，以獲得移動(dòng)速度，滿足降溫時(shí)工藝參數(shù)要求。

（3）高真空機(jī)組：

   該高真空機(jī)組系統(tǒng)主要配備寧波鮑斯產(chǎn)DRV-10真空機(jī)械泵及KYKY的分子泵，空爐、冷態(tài)、潔凈、從泵啟動(dòng)開始到100Pa ≤10min，壓升率≤5Pa/min。

1、 技術(shù)指標(biāo)

        環(huán)境溫度：5~32℃

空氣相對濕度：≤85%

工作電壓：AC220V?10%  50/60HZ

功率：1KW

系統(tǒng)整體較限真空度：5.0?10^-5Pa

實(shí)驗(yàn)真空度：5.0?10^-3Pa

2、 主要配置

（1） 機(jī)械泵：抽氣速率：4L/S；

                        容油量：1.1L；

                        電機(jī)功率：400W；

（2） 分子泵：抽氣速率：100L/S；

                        較限壓強(qiáng)：6?10^-6Pa；

                        啟動(dòng)時(shí)間：＜2min；

                        額定轉(zhuǎn)速：4300轉(zhuǎn)/分

                        冷卻方式：環(huán)境溫度5-32℃時(shí)，風(fēng)冷；

           （3）復(fù)合真空計(jì)：測量路數(shù)：2路（電阻規(guī)、電離規(guī)各1路）；

工作模式：手動(dòng)/自動(dòng)；

電阻單元參數(shù)：

規(guī)管型號(hào)：ZJ-52T電阻規(guī)

測量范圍：1.0?10⁵Pa~1.0?10^-1Pa

有效范圍：2.5?10³Pa~5.0?10^-1Pa

              電離單元參數(shù)

規(guī)管型號(hào)：ZJ-27電離規(guī)

可測范圍：5.0Pa~1.0?10^-5Pa

有效范圍：1.0Pa~5.0?10^-5Pa

規(guī)管除氣方式：焦耳去氣

（4）流量控制系統(tǒng)：

該系統(tǒng)配置一路流量控制器，用于真空下的氣氛燒結(jié)，以及用于降溫過程中的通入一定量的氣體來達(dá)到目標(biāo)降溫速率。

質(zhì)量流量控制器：流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)量程：1000sccm，

                工作溫度：5~45℃；

                工作壓差：0.1~0.5Mpa；

                大壓力：3Mpa；

                準(zhǔn)確度：?1.5% FS?1.5% FS

（5）工控電腦及操作系統(tǒng)：

該系統(tǒng)人機(jī)界面加PLC控制，10寸液晶屏控制，顯示器可直接顯示真空度、氣體流量、熱電偶溫度、電機(jī)旋轉(zhuǎn)速度等信息。

（7）其他參數(shù)：

1. 底座固定采用福馬輪旋轉(zhuǎn)方式，便于固定及移動(dòng)；

2. 設(shè)備高度要求操作平臺(tái)離地高度700mm， 便于平臺(tái)操作。

3. 設(shè)備石英腔體內(nèi)樣品支撐架及固定夾具托盤等相關(guān)備附件由乙方提供。