產(chǎn)品描述
在真空工藝應(yīng)用中，真空設(shè)備需要滿足真空工藝各類參數(shù)需求。為了更好的實現(xiàn)這一需求，不僅對真空設(shè)備性能有要求，同時也需要環(huán)境能夠給設(shè)備提供良好的運作條件，保證設(shè)備穩(wěn)定運行，好環(huán)境才有好性能。
我們把沒有特殊要求的真空工藝過程稱之為常規(guī)真空工藝，這類工藝對環(huán)境的要求具有一定的普遍性，主要包括以下幾點：
1、保證處于真空狀態(tài)或真空中的真空設(shè)備零件機器表面，沒有積存的污染源，包括塵埃、鐵屑、銹蝕等。
2、真空設(shè)備的真空室表面要光滑，無氣孔，無死空間，內(nèi)焊縫無影響真空的缺陷。
3、高真空設(shè)備中，真空室內(nèi)的運動部件不得用機油作潤滑劑，而要用飽和蒸氣壓低的擴散泵油、硅油作潤滑劑。法蘭、大門、觀察窗的密封部位可涂以高真空油脂。
4、無油非常高真空系統(tǒng)要避免油蒸氣影響工作介質(zhì)的純度、表面特性或工作性能，為具體的工藝過程提供清潔的非常高真空環(huán)境。
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