電子級磷酸三甲酯TMPO

電子級磷酸三甲酯TMPO

一、分子式：PO(OCH3)3

二、分子量：140.07

三、理化性質(zhì)

    無色液體，有水果味，熔點(diǎn)-46℃，沸點(diǎn)197℃，密度1.215g/ml。易燃，易溶于水，難溶于乙醇。

四、用途

    主要用于晶圓制造過程中沉積生成磷硅酸玻璃（PSG）和硼磷硅酸玻璃（BPSG）。是半導(dǎo)體、分立器件、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）制造所需的重要電子化學(xué)品。

供應(yīng)半導(dǎo)體化學(xué)氣相沉積材料，專業(yè)研發(fā)及制造各種先進(jìn)CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化學(xué)氣相沉積材料，TDMAT / InCl3/TEOS/TMB/TEB Precursor，TDMAT/TiCl4/TMA/TEASAT/InI/InF3/InCl3/High-K/Low-K Material，TEOS,TMB,TEB,TMPO,TEPO,TDMAT,TiCl4等。