深圳市旺達(dá)康科技有限公司
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主營：鋁濺射靶材,濺射靶材,磁控濺射靶材,鋁蒸鍍材料,蒸鍍材料,鋁高純材料,高純材料,稀土材料
產(chǎn)品描述
電子級六甲基二硅氮烷HMDS
別名：六甲基二硅氮烷;六甲基二硅烷胺;六甲基二硅亞胺六甲基二硅氮烷
無色透明液體。易水解，放出NH3，生成六甲基二硅醚。在催化劑存在下，與醇或酚反應(yīng)，生成三甲基烷氧基硅烷或三甲基芳氧基硅烷。與無水氯化氫反應(yīng)，放出NH3或NH4Cl，生成三甲基氯硅烷。可由三甲基氯硅烷與NH3反應(yīng)來制取。
中文名：六甲基二硅氮烷
英文名：Hexamethyldisilazane
分子式：C6H19NSi2
分子量：161.39
CAS號：999-97-3
EINECS號：213-668-5
用途：
主要用于晶圓制造過程中光致刻蝕劑的粘結(jié)助劑。
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