質(zhì)量流量計，氣體流量計產(chǎn)品

 

S49 32/MT 質(zhì)量流量控制器(流量計)特點：

☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。

☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。

☆具有精度高、重復性好、響應(yīng)速度快、軟啟動、工作穩(wěn)定可靠。

☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動控制系統(tǒng)配合。

☆配合MT-60 系列流量積算儀，可對氣體的瞬時流量和累積流量進行計量。

 

S49 32/MT 質(zhì)量流量控制器(流量計)主要應(yīng)用領(lǐng)域：

半導體制造行業(yè)的氣體流量控制；

分析儀器設(shè)備的氣體計量與控制；

各種形式的真空鍍膜設(shè)備；

環(huán)境檢測與分析設(shè)備；

化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業(yè)氣體流量檢測和控制；

特種材料表面處理裝置與燃燒控制；

混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測系統(tǒng)等。

 

S49 32/MT質(zhì)量流量控制器(流量計)技術(shù)指標

編號	項目	S49 32/MT
1	流量規(guī)格	（5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min （1,2,3,5,10）L/min
2	調(diào)節(jié)閥類型	電磁調(diào)節(jié)閥
3	調(diào)節(jié)閥靜止狀態(tài)	常閉
4	準確度	±1.5%F.S
5	線性	±1.5%F.S
6	重復精度	±0.2%F.S
7	響應(yīng)時間	≤8秒（T95）
8	工作壓差范圍	（50～300）kPa;   （100～300）kPa(10L/min)
9	耐壓	3MPa;           10MPa
10	工作環(huán)境溫度	（5～45）℃
11	材料	不銹鋼316L
12	標準密封材料	Viton®，    EPDM，  或其他由用戶指定
13	漏率	1×10-8Pa.m3/s
14	接頭	Φ6mm～Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用戶指定
15	輸入輸出信號	（0～＋5.00）V (輸入阻抗≥100KΩ,負載輸出電流能力≤3mA)
16	供電電源	±15V（±5%）（＋15V  50mA,  －15V  200mA）
17	外形尺寸mm	130（寬）×102（高）×28（厚）
18	重量kg	0．8