產品描述
S49 32/MT 質量流量控制器(流量計)特點：
☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。
☆主體采用不銹鋼（316L）結構，氣密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。
☆具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、工作穩(wěn)定可靠。
☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統或自動控制系統配合。
☆配合MT-60 系列流量積算儀，可對氣體的瞬時流量和累積流量進行計量。
S49 32/MT 質量流量控制器(流量計)主要應用領域：
半導體制造行業(yè)的氣體流量控制；
分析儀器設備的氣體計量與控制；
各種形式的真空鍍膜設備；
環(huán)境檢測與分析設備；
化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業(yè)氣體流量檢測和控制；
特種材料表面處理裝置與燃燒控制；
混氣配氣系統和泄露探測系統等。
S49 32/MT質量流量控制器(流量計)技術指標
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編號 |
項目 |
S49 32/MT |
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1 |
流量規(guī)格 |
（5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min （1,2,3,5,10）L/min |
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2 |
調節(jié)閥類型 |
電磁調節(jié)閥 |
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3 |
調節(jié)閥靜止狀態(tài) |
常閉 |
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4 |
準確度 |
±1.5%F.S |
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5 |
線性 |
±1.5%F.S |
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6 |
重復精度 |
±0.2%F.S |
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7 |
響應時間 |
≤8秒（T95） |
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8 |
工作壓差范圍 |
（50～300）kPa; （100～300）kPa(10L/min) |
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9 |
耐壓 |
3MPa; 10MPa |
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10 |
工作環(huán)境溫度 |
（5～45）℃ |
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11 |
材料 |
不銹鋼316L |
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12 |
標準密封材料 |
Viton®， EPDM， 或其他由用戶指定 |
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13 |
漏率 |
1×10-8Pa.m3/s |
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14 |
接頭 |
Φ6mm～Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR�；蚱渌捎脩糁付� |
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15 |
輸入輸出信號 |
（0～＋5.00）V (輸入阻抗≥100KΩ,負載輸出電流能力≤3mA) |
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16 |
供電電源 |
±15V（±5%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） |
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17 |
外形尺寸mm |
130（寬）×102（高）×28（厚） |
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18 |
重量kg |
0．8 |
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