Anhui BEQ Equipment Techonology Co., Ltd
主營:管式爐,箱式爐,CVD系統(tǒng),PECVD系統(tǒng),升華儀
設(shè)備特點(diǎn):
1200℃開啟式真空管式爐不僅可以抽真空,也可以通氣體保護(hù)。其結(jié)構(gòu)使得拆裝爐管方便,操作簡(jiǎn)捷,使用者可直接將密封腔體移出爐體,加快降溫過程,透明石英管腔體可直觀的看到樣品燒結(jié)狀態(tài)。法蘭采用卡箍快捷接頭,減去了取放料時(shí)的繁瑣操作, 爐管工件橫穿與上下各6組進(jìn)口電阻絲的爐膛,溫場(chǎng)均勻,內(nèi)外溫差可控制在3度左右,氣動(dòng)彈簧支撐結(jié)構(gòu)讓操作者可各角度安全開啟。廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米材料、碳纖維、石墨烯等新材料、新工藝領(lǐng)域。
技術(shù)參數(shù):
爐管尺寸:Φ100×1000mm(管徑可選)
加熱元件:電阻絲
加熱區(qū)長度:440mm
恒溫區(qū)長度:200mm
工作溫度≤1100℃
控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能
控溫精度:±1℃
升溫速度:15℃/ min
爐門結(jié)構(gòu):開啟式
工作電源:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz
額定功率:3KW
外型尺寸:590×380×500 mm
密封系統(tǒng):爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭(包括精密針閥,指針式真空壓力表和軟管式Φ9.2mm寶塔嘴接頭)端口可按實(shí)際使用擴(kuò)展。
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