半導(dǎo)體器件設(shè)備-硅片片盒清洗機

半導(dǎo)體器件設(shè)備-硅片片盒清洗機
半導(dǎo)體器件設(shè)備-片盒清洗機型號：cgb-xxxx—xx系列，品牌：華林嘉業(yè)—cgb1.設(shè)備由五大部分組成：清洗槽部分、伺服系統(tǒng)及機械臂部分、層流凈化系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、機架及整機。 2.清洗槽部分由有機溶劑槽、去離子水槽、酸槽或堿槽等組成。 3.關(guān)鍵件采用進(jìn)口件，包括氣動閥，pfa管道、全氟循環(huán)系統(tǒng)，保證工作介質(zhì)（酸、堿）的潔凈度，避免雜質(zhì)析出。 4.工藝過程全自動，機械手在槽間的轉(zhuǎn)換由兩套伺服系統(tǒng)控制，可存儲多條工藝時序，方便使用。有需求此方面設(shè)備的朋友，歡迎來電咨詢