高純石墨
高純石墨一般指含碳量在99.99%以上的石 墨,在組織結(jié)構(gòu)上可分為粗顆粒結(jié)構(gòu)、細(xì)顆粒結(jié)構(gòu)和超細(xì)顆粒結(jié)構(gòu)三類,高純石墨大量用于直拉單晶硅爐中。集成電路的基礎(chǔ)材料主要是硅單晶芯片,目前硅單晶的成長(zhǎng)工藝主要采用直拉法,其他方法還有磁場(chǎng)直拉法、區(qū)域法以及雙坩堝拉晶法,直拉單晶硅爐中的石墨件是消耗品,采用高純石墨材料加工成直拉單晶硅爐的加熱系統(tǒng)。
高純石墨另一重要用途是加工成各類坩堝,用于生產(chǎn)貴金屬、稀有金屬或高純金屬、非金屬材料。光譜分析用石墨電極也是一種高純石墨,可用于除碳元素以外的所有元素的光譜化學(xué)分析,光譜分析用石墨電極用擠壓方法成型。成品的雜質(zhì)元素含量應(yīng)不大于6*10-5。在光譜分析中制備標(biāo)準(zhǔn)樣品和用化學(xué)方法捕集雜質(zhì)時(shí)需用光譜純炭粉或光譜純石墨粉,這兩種高純材料對(duì)雜質(zhì)含量的要求都是在6*10-5;在某些用途方面,需要含碳量達(dá)到99.9995%,總灰分含量小于5*10-6。高純石墨的成型方法有擠壓成型、模壓成型及等靜壓成型三種。
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