高速激光干涉儀

SJ6000高速激光干涉儀采用高性能的穩(wěn)頻氦氖激光器，采用邁克爾遜干涉原理的測量儀器。具有測量精度高、量程大、速度快、靈敏度高、抗擾力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。在計量領(lǐng)域中可作為長度基準(zhǔn)以及設(shè)備校準(zhǔn)工具。廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、激光打標(biāo)/切割、三坐標(biāo)、影像儀、測量、自動化、機(jī)器人、3D打印等領(lǐng)域。

 

 

SJ6000高速激光干涉儀結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

 

產(chǎn)品配置

SJ6000高速激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動準(zhǔn)確轉(zhuǎn)臺。

 

▲主要鏡組圖

其中，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成�？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。

 

技術(shù)規(guī)格

穩(wěn)頻精度	0.05ppm
動態(tài)采集頻率	50 kHz
預(yù)熱時間	≤ 6分鐘
工作溫度范圍	(0~40)℃
存儲溫度范圍	(-20~70)℃
環(huán)境濕度	(0~95)%RH
線性測量距離	(0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件)
線性測量精度	0.5ppm (0~40)℃
角度軸向量程	(0~15)m
角度測量精度	±(0.02%R 0.1 0.024M)″

 

測量功能

1.可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的測量；

2.可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

3.可實(shí)現(xiàn)龍門機(jī)床雙軸同步測量；

4.可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；

5.可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

6.具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

7.支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

 

對機(jī)床精度再校準(zhǔn)

 

激光干涉儀對機(jī)床運(yùn)動導(dǎo)軌和滾珠絲桿的各項(xiàng)參數(shù)檢測分析、校準(zhǔn)補(bǔ)償?shù)闹匾�性，而機(jī)床在裝配、加工、生產(chǎn)的同時需要頻繁的使用到激光干涉儀，來進(jìn)行多種幾何量精度參數(shù)的測量以及動態(tài)性能的測試、分析。