高溫設(shè)備用石墨制品石墨治具
價(jià)格
100 元/件
- 單價(jià)：電議
- 最小起訂量： 10件
- 所在地：廣東 深圳
- 供貨總量： 10000件
- 發(fā)布時(shí)間：2020-05-19
深圳市石金科技股份有限公司
已認(rèn)證
Shenzhen Gold Stone Technology Co.,Ltd.
主營(yíng)：石墨制品,石墨轉(zhuǎn)子、葉片,石墨軸承,保溫氈,碳碳板,石墨舟,VC散熱石墨治具,玻封燒結(jié)石墨制品
產(chǎn)品描述
在半導(dǎo)體工業(yè)中，高純石墨主要是作為加熱系統(tǒng)、保溫罩、電較等存在，采用高純石墨做這些部件也是充分利用了高純石墨耐高溫這一特點(diǎn)。高純石墨的耐腐蝕、舒緩反應(yīng)、導(dǎo)電導(dǎo)熱的優(yōu)點(diǎn)應(yīng)用到了半導(dǎo)體工業(yè)中，使工件使用壽命更長(zhǎng)、更加減磨省電。我司采用德國(guó)半導(dǎo)體等級(jí)石墨材料，準(zhǔn)確制作離子注入用石墨耗材，提供標(biāo)準(zhǔn)件及客制化規(guī)格。
高純度石墨根據(jù)均勻細(xì)顆粒的特性可作為低原子序數(shù)材料，對(duì)離子、等離子具有較強(qiáng)的抗轟擊能力，很強(qiáng)的抗腐蝕性，純度高沒(méi)有金屬離子不會(huì)對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)生污染，金屬部件暴露在離子注入設(shè)備中會(huì)造成高的損耗，故這時(shí)應(yīng)用相應(yīng)的石墨件來(lái)作屏蔽罩。用于等離子cvd用部件 等離子vcd用感受器、電較室、噴嘴、內(nèi)襯、濺射用電較、movcd感受器等。
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徐忠鑫
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