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產(chǎn)品描述

半導體 \FPD 檢查顯微鏡WMJ-9960

一．產(chǎn)品簡介

全新的WMJ-9960半導體 \FPD 檢查顯微鏡，支持 300mm 晶圓及 17英寸液晶面板的檢查，含 4、6、8、12英寸多種轉(zhuǎn)盤，可適用不同尺寸的晶圓檢查。人機工程學設計一體提升，為用戶提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗。
仰角可調(diào)觀察筒
0-35?觀察角度可調(diào)，適合不同身高的用戶，降低了對工作環(huán)境的要求，讓不同的使用者都能找到合適的觀察角度，減輕了長時間工作帶來的不適與疲勞，大幅度提高工作效率。
全新離合驅(qū)動式載物臺
WMJ-9960 采用離合式手柄，用戶按下離合扳手就可靈活移動平臺，無需長時間捏緊手柄；按下離合按鈕，取消快速移動。避免長時間操作出現(xiàn)手麻現(xiàn)象，并加快觀察速度。 WMJ-9960 引入準確導軌傳動機構(gòu)，移動更輕更順暢，產(chǎn)品更加穩(wěn)定可靠。

安全、高速的電動式物鏡轉(zhuǎn)換器

設有前進、后退兩檔切換模式，可快速定位到所需要的觀察倍率，重復定位精度高。機械式的切換模式，有效提升了轉(zhuǎn)換器的使用壽命。

按鍵觸手可及，助您提高工作效率
WMJ-9960 物鏡與孔徑光闌采用全新的電動控制系統(tǒng)，其操作按鍵位于儀器正前方，讓您觸手可及。人性化的電動設計不僅避免了頻繁的手動操作步驟，也使您的檢測工作也更加靈活。

防震支架設計
機身由六端支架支撐，低重心、高穩(wěn)定性全金屬機架，具備效果好的抗震功能，確保像質(zhì)穩(wěn)定。

豐富的應用領域
WMJ-9960 集成了明場、暗場、偏光、DIC 等多種觀察功能。廣泛應用于半導體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件金屬陶瓷部件、準確磨具等檢測。

二．參數(shù)配置

光學系統(tǒng)	無限遠色差校正光學系統(tǒng)
觀察方式	明場/暗場/偏光/DIC
觀察筒	無限遠鉸鏈三通觀察筒,0-35?傾角可調(diào),正像,瞳距調(diào)節(jié) :50-76mm，分光比 100:0 或 0:100
目鏡	高眼點大視野平場目鏡 PL10X/25mm，視度可調(diào)，可帶單刻度十字分劃版
物鏡	無限遠明暗場半復消金相 DIC 物鏡 5X 10X 20X 50X 100X
	無限遠長工作距明暗場半復消金相 DIC 物鏡 20X
	無限遠長工作距明暗場半復消金相物鏡 50X 100X
轉(zhuǎn)換器	明暗場六孔電動轉(zhuǎn)換器，帶 DIC 插槽
機架組	反射式機架，前置低手位粗微同軸調(diào)焦機構(gòu)。粗調(diào)行程35mm，微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng)
機架組	透反機架，前置低手位粗微同軸調(diào)焦機構(gòu)。粗調(diào)行程 35mm，微調(diào)精度 0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng)
載物臺	右手位 14?12 英寸三層機械移動平臺，低手位 X、Y 方向同軸調(diào)節(jié) ；平臺面積 718mmX420mm，移動范圍：356mmX305mm
載物臺	帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動；玻璃載物臺板 ( 反射用）
電動平臺	面積 495mmX641mm，移動范圍：306mmX306mm ；軟件控制 X、Y 移動，重復定位精度，（3 L/50）μm 帶平板平臺
照明系統(tǒng)	明暗場反射照明器 , 帶可變電動孔徑光闌，視場光闌 , 中心均可調(diào) ；帶明暗場照明切換裝置；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽
攝影攝像附件	0.5X/0.65X/1X 攝像接筒，C 型接口，可調(diào)焦
其他	起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，反射用干涉濾色片組；高精度測微尺；DIC 組件