稀土濺射靶材,氮化物靶材,硼化物靶材,硅化物靶材,氧化物靶材,碳化物靶材,氟化物靶材,以及各種復(fù)合型靶材.
純金屬靶材:硼靶材,碳靶材,鎂靶材,鋁靶材,鋰靶材,硅靶材,鈧靶材,鈦靶材,釩靶材, 鉻靶材,錳靶材,鐵靶材,鈷靶材,鎳靶材,銅靶材,鋅靶材,鎵靶材,鈣靶材,鍶靶材,鍺靶材,硒靶材,釔靶材,鋯靶材,鈮靶材,鉬靶材,釕靶材,銠靶材,鈀靶材,銀靶材,鎘靶材,銦靶材,錫靶材,銻靶材,碲靶材,鉿靶材,鉭靶材,鎢靶材,錸靶材,鋨靶材,銥靶材,鉑靶材,金靶材,鉛靶材,鉍靶材,鑭靶材,鈰靶材,鐠靶材,釹靶材,釤靶材,銪靶材,釓靶材,鋱靶材,鏑靶材,鈥靶材,鉺靶材,銩靶材,鐿靶材,镥靶材.
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