優(yōu)點
? 佳耐熱特性
? 優(yōu)異的抗化學(xué)特性
? 低Outgassing 特性
? 優(yōu)異之抗Plasma特性
缺點:
? 耐低溫特性較差
? 原料價格較高
? 生產(chǎn)難度較高 ? 全氟系列產(chǎn)品廣泛地運用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)及信息相關(guān)產(chǎn)業(yè)所運用, 運用范圍包含薄膜制程中之PVC, CVD及蝕刻制程及各種高真空密封制程。
氟橡膠(FPM)是由含氟單體共聚而成的農(nóng)業(yè)生產(chǎn)體系彈性體。氟橡膠化學(xué)穩(wěn)定性較佳,耐高溫可達300℃,是目前彈性體中的一種,氟橡膠的耐老化性能也較好,機械性能也是出乎意料的優(yōu)良,一般氟橡膠力度強在15.0~25MPa之間,伸長率在200%~600%,抗撕裂強度在2~7MPa之間,氟橡膠的電性能好,透氣性小,由于其具有耐高溫、耐油、耐高真空及耐酸堿、耐多種化學(xué)藥品的特點,主要用于國防工業(yè)制造飛機、火箭上的耐真空、耐高溫、耐化學(xué)腐蝕的密封材料、膠管或其他零件及汽車工業(yè)。
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