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玻璃配置：
非標設(shè)備
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顏色：
1
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品牌：
威固特
產(chǎn)品描述
型號：VGT-907FTA
產(chǎn)品特點：
1.人機界面，PLC控制；
2.采用單臂機械手，可靈活調(diào)節(jié)清洗工藝；
3.各清洗槽設(shè)置拋動機構(gòu)，保證清洗效果；
4.采用超聲波清洗、鼓所沖洗等工藝；
5.采用28KHZ、40KHZ多頻段超聲波；
6.全封閉機構(gòu)，外形美觀。
7.設(shè)備內(nèi)部安裝有維修照明燈，方便維修。
8.上下料有專項使用手推車，方便員工操作。
應用范圍：
1、爐前清洗：擴散前清洗。
2、光刻后清洗：除去光刻膠。
3、氧化前自動清洗：氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。
4、拋光后自動清洗：除去切、磨、拋的沾污。
5、外延前清洗：除去埋層擴散后的SiO2及表面污物。
6、合金前、表面鈍化前清洗：除去鋁布線后，表面雜質(zhì)及光膠殘渣
7、離子注入后的清洗：除去光刻膠，SiO2層
8、擴散預淀積后清洗：除去預淀積時的BSG和PSG。
9、外延前清洗：除去埋層擴散后的SiO2及表面污物。
10、CVD后清洗：除去CVD過程中的顆粒。
技術(shù)參數(shù)：
超聲波功率：3.5KW
超聲波頻率：28,40,60KHZ
換能器數(shù)量：7個
電源電壓：220V/380V
技術(shù)優(yōu)勢：
適用于2”-8”基片的半導體清洗工藝中,有效去除硅/晶片表面的農(nóng)業(yè)生產(chǎn)體系物、顆粒、金屬雜質(zhì)、自然氧化層及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不破壞晶片表面特性。根據(jù)不同清洗工藝配置相應的清洗單元，各部分有單獨控制，隨意組合。
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