產(chǎn)品描述
PECVD石墨舟產(chǎn)品說(shuō)明：
本產(chǎn)品是選用德國(guó)SGL高純石墨材料,PECVD 作為鍍膜常用的工藝之一，被廣泛用于半導(dǎo)體、電池片的生產(chǎn)工藝中。作為硅片的載體，石墨是理想的材料之一，對(duì)表面膜的均勻性、色差等產(chǎn)生至關(guān)重要的作用 ！要求其有高純度、耐腐蝕，極好的抗彎強(qiáng)度，和良好的導(dǎo)電系數(shù)。
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