產(chǎn)品描述
| 國(guó)產(chǎn)程序 | 500℃以≤5℃//m下SK-G06163-3，500℃-80≤5℃0℃之間SK-G08163-3，800℃以上≤5℃/min |
|---|---|
| 進(jìn)口程序 | 500℃以≤5℃//m下SK-G06165-3，500℃-80≤5℃0℃之間SK-G08165-3，800℃以上≤5℃/min |
| 溫 區(qū) | 溫 區(qū) 1 /溫 區(qū) 2/溫 區(qū) 3 |
| 溫度 | 1600℃ |
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 160mm/230mm/160mm230m2230m230mm30mmm/270mm/300mm/270mm |
| 恒溫區(qū)長(zhǎng)度 | 80mm/120mm80mm/110mm110mm110mm110mm100mm/150mm10mm |
| 加熱元件 | 硅鉬棒 |
| 使用溫度 | 1500℃ |
| 額定功率 | 7Kw硅鉬棒硅鉬棒硅鉬棒硅鉬棒硅鉬棒硅鉬棒9Kw |
| 工作電壓 | 220V |
| 溫度控制 | 國(guó)產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編輯50段程序控溫；進(jìn)口程序控溫系統(tǒng)可編輯40段程序控溫； |
|
允許溫差 |
兩個(gè)溫區(qū)溫差應(yīng)＜400℃ |
| 剛玉管尺寸 | 500℃以≤5℃/0/m下Φ60X1200mm，500℃-80≤5500℃0℃Φ80X1500mm，800℃以上≤5℃/min |
|
爐管材料 |
剛玉管 |
| 配置爐管時(shí)升溫速度 | 500℃以下≤5℃/min，500℃-800℃之間≤10℃/min，800℃-1000℃之間≤5℃/min，1000℃-1400℃之間≤3℃/min，1400℃-1600℃之間≤2℃/min |
| 真空/氣氛總成配套(可選) | 真空控制系統(tǒng): 中真空控制系統(tǒng)、高真空控制系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng)； |
| 氣路控制系統(tǒng)：氣體浮子流量控制系統(tǒng)、氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)； | |
| 計(jì)算機(jī)集散控制系統(tǒng)； CVD電爐系統(tǒng) | |
| 外形尺寸(深x寬x高) | 796×1150×650mm兩個(gè)溫區(qū)溫差兩個(gè)溫區(qū)溫差796×1150×650mm |
| 重量 | 140kg×0mm兩個(gè)溫區(qū)溫差兩個(gè)溫溫差796差×170kg×650mm |
| 標(biāo)準(zhǔn)配置 | 氣路總成一套(含真空壓力表)，剛玉管一支，剛玉堵塞四支/舟一支，鉤子一把，高溫手套一副 |
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