激光干涉儀采用雙頻氦氖激光器作為光源。其精度高,抗干擾能力強,空氣湍流、熱波動等影響甚微,因此降低了對環(huán)境條件的要求,使它不僅能用于實驗室,還可在車間條件下測量大距離用。激光干涉?zhèn)鞲衅骺蓱?yīng)用于長度計量,如線紋尺和光柵的檢定,量塊自動測量,絲桿動態(tài)測量等,還可用于工件尺寸、坐標(biāo)尺寸的測量中。
中圖儀器推出的SJ6000便攜式激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快下分辨率高等優(yōu)點。能輕松實現(xiàn)運動導(dǎo)軌的快速測量,以及反向間隙修正和螺距補償,以及實現(xiàn)位移、速度、加速度以及振幅頻率的動態(tài)測量與分析。
主要特點
1、方便攜帶(無控制電箱設(shè)計,全套系統(tǒng)總重小于15kg)
2、安裝簡便(兩點式調(diào)光,無需三角架)
3、SJ6000便攜式激光干涉儀測量效率高(一次裝調(diào)5-6個參數(shù)同時測出)
4、補償(空氣溫度,材料溫度,空氣壓力)
SJ6000便攜式激光干涉儀通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合,可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下,還可以對數(shù)控機床進(jìn)行動態(tài)性能檢測,如可以測量數(shù)控機床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動態(tài)參量,可以進(jìn)行機床振動測試與分析,滾珠絲桿的動態(tài)特性分析,驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等,精度高且效率業(yè)高,而且及時處理數(shù)據(jù),為機床誤差修正提供依據(jù)。
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