半導體專項使用螺桿真空泵

半導體專項使用螺桿真空泵特征特點：

1. 結(jié)構(gòu)簡單緊湊：對旋向相反的螺桿、泵體、端蓋、密封件等部件組成，結(jié)構(gòu)非常簡單，非常可靠。

2. 抽氣腔原件無摩擦：螺桿和泵體之間均有一定間隙。

3. 使用壽命長：由于腔內(nèi)部部件之間不摩擦，潤滑油在非氣體過流部分部件中循環(huán)。

4. 真空度高：單臺螺桿干式真空泵可替代三級羅茨泵水環(huán)真空機組。

5. 純凈：無需任何工作介質(zhì)，因此無油污染，無污水。

6. 噪音低：一般情況下為80分貝左右。

7. 適宜抽可凝性氣體（如水蒸氣等）、含粉塵的氣體。

8. 從大氣抽至較限壓力5Pa，只要一臺泵就能解決。

9. 干式運行，溶酶回收更容易。

10. 潤滑油在兩端，因此無油耗。

11. 可與羅茨泵組成真空系統(tǒng)，獲得更高的較限真空度和加大抽速。

12. 可與分子泵組成真空系統(tǒng)，真實達到無油環(huán)境。

13. 獨有自動控制系統(tǒng)，使泵更加安全、可靠、方便使用。

14. 螺桿端面型線是等距單頭轉(zhuǎn)子型線，穩(wěn)定性較高，適應(yīng)范圍廣。

15. 進氣口標配單向截止閥，防止氣體回流，保護反應(yīng)釜內(nèi)的物質(zhì)。

16. 出氣口標配消音器件，無需客戶另外購買。

17. 提供二種防腐蝕材料選擇：鎳磷合金、特氟龍。

18. 獨特自主研發(fā)的高科技的自動控制系統(tǒng)，操作方便、簡單、可靠、安全。

19. 使用成本較低：和傳統(tǒng)真空泵相比，螺桿真空泵不使用真空泵油、水或其它液體作為介質(zhì)，使用成本較低，也不污染環(huán)境。

20. 幾乎不須維修：由于螺桿泵的結(jié)構(gòu)特別簡單，所以螺桿泵在使用中非�？煽�。只要進行正常定期保養(yǎng)，維修的概率很低。配上本公司獨有的自控系統(tǒng)，可以有效清理螺桿的積碳、積垢、長時間不用后容易卡死等現(xiàn)象。

半導體專項使用螺桿真空泵參數(shù)：

型號：PNK DSP 0460

額定流量：460m³/h

較限壓力：1Pa

電機功率：15kw

轉(zhuǎn)速：2900/3500rpm

噪音：75dB(A)

吸氣口：80mm

排氣口：65mm

冷卻水量：15-20L

空溫：0-50℃

操作濕度：90%RH

安裝圖

曲線圖

東莞市普諾克真空科技有限公司坐落在中國制造名城----東莞，是一家集旋片真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵及真空應(yīng)用成套設(shè)備的專業(yè)生產(chǎn)廠家。

公司技術(shù)力量雄厚，工藝設(shè)備先進，產(chǎn)品質(zhì)量上乘，配套齊全，是指引國內(nèi)真空潮流的專業(yè)廠家。公司擁有真空泵，真空設(shè)備設(shè)計專業(yè)的技術(shù)人員，并不斷吸收先進的技術(shù)與人才。具有先進的設(shè)計和制造工藝技術(shù)，擁有專業(yè)的真空設(shè)計開發(fā)中心，致力于開發(fā)，生產(chǎn)適應(yīng)市場需求的新一代產(chǎn)品。

同時，公司擁有先進的真空產(chǎn)品生產(chǎn)和檢測設(shè)備，并積較引進國內(nèi)外先進的制造工藝和技術(shù)及高品質(zhì)的制造設(shè)備。借助計算機輔助設(shè)計系統(tǒng)及計算機管理系統(tǒng)，利用公司多年的經(jīng)驗積累和技術(shù)創(chuàng)新，可一體的為產(chǎn)品的設(shè)計和生產(chǎn)服務(wù)。并可為客戶提供便捷的真空系統(tǒng)解決方案。

公司嚴格奉行科技創(chuàng)新，顧客至上，質(zhì)量有保障，誠信守約的質(zhì)量方針，竭誠為廣大用戶提供高品質(zhì)的產(chǎn)品和高品質(zhì)的服務(wù)。

公司熱忱歡迎海內(nèi)外的各界朋友蒞臨指導，攜手共進！

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