半導(dǎo)體設(shè)備專項(xiàng)使用羅茨真空泵

東莞市普諾克真空科技公司擁有一支集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、售后為一體的強(qiáng)大隊(duì)伍，優(yōu)質(zhì)的半導(dǎo)體設(shè)備專項(xiàng)使用羅茨真空泵產(chǎn)品、專業(yè)的真空知識、在真空系統(tǒng)建造方面的豐富經(jīng)驗(yàn)以及快速的服務(wù)，為客戶提供理想、完善的真空解決方案并贏得了高度贊譽(yù)，需要了解更多羅茨真空泵信息的朋友請登錄。

羅茨真空泵產(chǎn)品特點(diǎn)：

1.馬達(dá)多樣性

每一臺普諾克羅茨真空泵的馬達(dá)都可采用風(fēng)冷或水冷，以保證客戶的正常使用

泵整體采用鋁合金或鑄鐵材料，實(shí)現(xiàn)泵散熱快、耐腐蝕性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)

2.結(jié)構(gòu)簡單 維護(hù)方便

轉(zhuǎn)子型線通過精心設(shè)計(jì)產(chǎn)用圓弧轉(zhuǎn)子方式使泵的設(shè)計(jì)更加緊湊

抽氣效果更加突出，相比同級別其它廠家抽速有很大提高

維護(hù)起來也很方便，維護(hù)費(fèi)用非常低

3.高清潔真空

羅茨泵泵腔內(nèi)沒有任何能與空氣發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的介質(zhì)

確保被抽氣體不受二次污染,實(shí)現(xiàn)高清潔真空

4. 助力泵

羅茨泵也稱助力泵，可以與螺桿泵、放片泵、水環(huán)泵、滑閥泵

分子泵等泵組成泵組，大大提高抽氣速率和真空度

正常情況下可以高10倍以上的真空度！

安裝尺寸圖

半導(dǎo)體設(shè)備專項(xiàng)使用羅茨真空泵產(chǎn)品參數(shù)：

型號：PNK MR 0600T

額定流量（50Hz）：600 m³/h

抽氣速率：166.7 l/s

較限壓力：≤0.05 Pa

大允許壓差：≥1.2x10⁴ mbar（≥1200000 Pa）

馬達(dá)頻率：50 Hz

馬達(dá)額定功率：3 Kw

連接口進(jìn)氣口：ISO100

連接口排氣口：ISO80

轉(zhuǎn)數(shù)（50HZ）：2900 PRM

重量：198 Kg

推薦前級泵：PNK SP 0100

產(chǎn)品曲線圖

羅茨真空泵前級泵選擇：

羅茨真空泵不能單獨(dú)使用，必須配上前級泵組成機(jī)組，使用前級真空泵是為了降低羅茨真空泵的排出壓力，由于羅茨真空泵的壓縮比是有限的，所以選擇前級真空泵的抽速是重要的，羅茨真空泵的大壓縮比是隨排出壓力而變化的，在高排出壓力下，大壓縮比多大3：1，而高壓縮比是在排出壓力為1到10mbar之間（1 mbar=0.75Torr）可達(dá)50:1，甚至更高些。

因此，選擇前級泵的抽速，要根據(jù)羅茨真空泵的長期工作壓力范圍考慮。

例如有一系統(tǒng)用羅茨真空泵機(jī)組抽氣，要求在1 mbar入口壓力時有600升/秒的抽速，并長期工作，問應(yīng)選擇多大抽速的前級泵。

先假定用30升/秒的前級泵時，壓縮比K=600： 30=20得出K=20時大排出壓力為30 mbar。

由此得出，當(dāng)選用30升/秒前級泵時，在入口壓力低于1.5 mbar以下工作是可行的，但高于1.5 mbar入口壓力工作時就選用大一些前級泵了。該例中，工作真空度1 mbar低于1.5 mbar，所以30升/秒的前級泵可以滿足上述真空系統(tǒng)的抽氣要求。

另外應(yīng)當(dāng)考慮的是，對預(yù)抽時間的要求問題，如果正常工作時間遠(yuǎn)比預(yù)抽時間長，可選較小的前級泵;假如真空室非常大，而且要求很快預(yù)抽，就要用非常大的前級泵，有時為了更好發(fā)揮設(shè)備的效率，機(jī)組裝有非常大的預(yù)抽泵，在正常工作后停掉它，而用較小的前級泵維持，這樣做是為了節(jié)約功率。

對羅茨真空泵機(jī)組的較限壓力的要求，也是選擇前級泵的必須考慮的，對較限真空度要求較高（達(dá)1X10^-3Pa～1X10^-2 Pa壓力）一般選用雙級旋片式油封機(jī)械泵或雙級滑閥機(jī)械泵作為前級泵。較限真空度要求在（1X10^-2 Pa～1X10^-1Pa）之間可選用單級油封機(jī)械泵作為前級泵，較限真空度要求在133～1333Pa之間可選用往復(fù)式真空泵或液環(huán)式真空泵作為前級泵。

當(dāng)選用往復(fù)式或液環(huán)式粗真空泵作為羅茨真空泵的前級泵時，前級泵的抽速一般為羅茨真空泵的1/2-1/4，不能太大，否則將使壓縮比過大，造成羅茨真空泵的排氣溫度高而不能正常工作。

選用前級泵時還必須考慮被抽氣體中是否有腐蝕性介質(zhì)，是否含有可凝性氣體，是大量的還是微量的。如果含有腐蝕性氣體，就不能選用油封機(jī)械泵，油封機(jī)械泵還不適宜抽除含有大量可凝性蒸汽的氣體，否則將會使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的氣體時，也必須采用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機(jī)械泵作為前級泵。

為了獲得在低入口壓力（1~100pa）時的高的抽氣速率，可用一臺羅茨真空泵作為另一臺羅茨真空泵的前級泵組成的三級或四級機(jī)組，此時羅茨真空泵之間的抽速比一般在2~5之間。

半導(dǎo)體設(shè)備專項(xiàng)使用羅茨真空泵產(chǎn)品圖片