整個流程由空氣壓縮及凈化、空氣分離、液氮汽化組成。
1.1 空氣壓縮及凈化
空氣經(jīng)空氣過濾器清除灰塵和機(jī)械雜質(zhì)后進(jìn)入空氣壓縮機(jī),壓縮至所需壓力,然后送入空氣冷卻器,降低空氣溫度。再進(jìn)入空氣干燥凈化器,除去空氣中的水份、二氧化碳、乙炔及其它碳?xì)浠衔铩?nbsp;
1.2 空氣分離
凈化后的空氣進(jìn)入空分塔中的主換熱器,被返流氣體(產(chǎn)品氮?dú)、廢氣)冷卻至飽和溫度,送入精餾塔底部,在塔頂部得到氮?dú),液空?jīng)節(jié)流后送入冷凝蒸發(fā)器蒸發(fā),同時冷凝由精餾塔送來的部分氮?dú),冷凝后的液氮一部分作為精餾塔的回流液,另一部分作為液氮產(chǎn)品出空分塔。
由冷凝蒸發(fā)器出來的廢氣經(jīng)主換熱器復(fù)熱到約130K進(jìn)膨脹機(jī)膨脹制冷為空分塔提供冷量,膨脹后的氣體一部分作為分子篩的再生和吹冷用,然后經(jīng)消音器排入大氣。
1.3 液氮汽化
由空分塔出來的液氮進(jìn)液氮貯槽貯存,當(dāng)空分設(shè)備檢修時,貯槽內(nèi)的液氮進(jìn)入汽化器被加熱后,送入產(chǎn)品氮?dú)夤艿馈?nbsp;
深冷制氮可制取純度≧99.999%的氮?dú)狻?nbsp;
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